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AB589
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FIREBIRD 系列
全自動熱壓式固晶系統
特點
靈活的物料處理能力,專門處理異質整合 2D、2.5D 及 3D
並存晶圓及卷帶送料
可處理框條式基板 / 單一式基板 / 晶圓
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選配 SlimFEM 系統直接處理晶圓及玻璃基板
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